国家标准计划《硅抛光片局部平整度检测方法》由 339-1（工业和信息化部（电子））归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。

主要起草单位 洛阳单晶硅公司 。

本标准非等效采用其他国际标准：ASTM F1530。

采标中文名称:。