《纳米技术 开尔文探针力显微术 第二部分：半导体微区表面光电压测量》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口上报，TC279SC2（全国纳米技术标准化技术委员会纳米检测技术分会）执行，主管部门为中国科学院。

在半导体材料与器件研发中，微区表面光电压测量是解析少数载流子扩散长度空间异质性的关键手段，对精准指导掺杂调控、缺陷钝化等工艺优化具有重要意义。

目前，全球范围内尚未建立统一的测量标准，导致不同机构、不同设备所获数据难以比对，制约了技术协同与产业应用。

制定并同步发布该指导性文件的外文版，将有效促进中国标准在国际范围内的认可与采纳，助力提升我国在半导体表征与标准化领域的国际话语权。