国家标准计划《电子化学品 气态分子污染物测试方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 上海集成电路材料研究院有限公司 、苏州实验室 、中国电子技术标准化研究院 、北京博赛德科技有限公司 、上海集材汇智集成电路技术有限公司 。