国家标准计划《电子化学品 离子色谱测试方法通则》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 苏州实验室 、中国电子技术标准化研究院 、上海集成电路材料研究院有限公司 。
20264554-T-469 正在起草