《电子气体 三氟化硼-11B》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。
电子气体三氟化硼-11B广泛应用于高密度微电子芯片、高性能半导体等产业，作为硼p型掺杂源，是离子注入气体之一，可减少晶格缺陷，有效提高芯片稳定性及抗干扰能力，市场需求持续释放。
近年来，随着大规模集成电路技术的进步，市场对电子气体的纯度和质量提出了越来越高的要求。
在此背景下，为提升电子特气科技水平发展，现申请立项制定《电子气体 三氟化硼-11B》国家标准英文版。
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