国家标准计划《纳米技术 电容式位移传感器性能测试 激光干涉法》由 TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，TC279SC2（全国纳米技术标准化技术委员会纳米检测技术分会）执行 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 中国计量科学研究院 、重庆市计量质量检测研究院 、合肥工业大学 、哈尔滨工业大学 、天津大学 、善测（天津）科技有限公司 、北京长城计量测试技术研究所 。