国家标准计划《表面化学分析 纳、微尺度范围基于粒子束方法的横向分辨和锐度的测定》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。 拟实施日期：发布后3个月正式实施。

主要起草单位 上海市计量测试技术研究院有限公司 、苏州实验室 、中国科学院化学研究所 。

主要起草人 陈永康 、徐建 、徐文涛 、沈伊凡 、赵志娟 、王勇 、周莹 、郝萍 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 18516:2019（E）。

采标中文名称:表面化学分析 纳、微尺度范围基于粒子束方法的横向分辨和锐度的测定。