《微束分析 扫描电子显微术 分辨率 第1部分：纳米级长度标尺校准方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准委。

国内外与SEM标尺校准有关的标准是：1、GB/T 27788-2020《微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则（ISO 16700:2016，IDT）》，2、JJF 1916-2021《扫描电子显微镜校准规范》。

本标准与其中的SEM成像步骤相同，不同之处在于：1、本标准采用自溯源纳米级光栅；2、校准方法采用图像的傅里叶变换长度测量法。

近期立项的中国材料与试验团体（CSTM）标准《扫描电子显微镜（SEM）纳米级长度标尺校准技术规范》（以下简称团标）中，标尺校准方法与本标准是一致的。

与团标相比，本标准在技术层面上有明确的增补。

这两个标准面向的对象和应用场景不同，团标针对扫描电镜厂家所生产的SEM设备进行分辨率评估，本标准面向对象是SEM的一般使用者，后者获得的SEM图像通常无法保证光栅严格平行于纵轴，将会造成校准偏差，因此对图像进行倾斜矫正是必要的。

本标准中首先增加了图像倾斜矫正的Radon算法，使本标准能够适用于更为一般的情况。

其次，增加了SEM线扫描曲线的傅里叶变换频谱算法，增加了纳米级长度标尺校准实例。