国家标准《刻蚀机用硅电极及硅环》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 有研半导体硅材料股份公司 、山东有研半导体材料有限公司 、新美光（苏州）半导体科技有限公司 、浙江海纳半导体有限公司 。

主要起草人 库黎明 、孙燕 、闫志瑞 、张果虎 、夏秋良 、潘金平 。