国家标准计划《精细陶瓷（先进陶瓷、先进技术陶瓷） 采用平行X射线束X射线衍射法测定单晶薄膜（晶圆）结晶质量的方法》由 TC194（全国工业陶瓷标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国建筑材料联合会。

主要起草单位 深圳职业技术大学 、深圳市速普仪器有限公司 、昆明理工大学 、季华实验室 、中材新材料研究院（广州）有限公司 、中材高新材料股份有限公司 、上海超硅半导体股份有限公司 、山东工业陶瓷研究设计院有限公司 、中国质量标准出版传媒有限公司 、绍兴芯纪源电子科技有限公司 、京隆科技（苏州）有限公司 、深圳市东汇精密机电有限公司 、深圳市防伪溯源协会 。

主要起草人 赵升升 、张小波 、包亦望 、谭晓逸 、白敬胜 、万德田 、王增辉 、王红英 、宋小平 、王邃 、王洪升 、裴郁 、吴春生 、李俊克 、张萌 、王陶 、张亚萍 、何彩梅 、张旭亮 、招刚 、骆丽平 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 22278:2020。

采标中文名称:精细陶瓷（先进陶瓷、先进技术陶瓷） 采用平行X射线束X射线衍射法测定单晶薄膜（晶圆）结晶质量的方法。