国家标准计划《微机电结构动态参数的激光测量方法》由 TC487（全国光电测量标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 余姚舜宇智能光学技术有限公司 、中国计量大学 、中国科学院空天信息创新研究院 、清华大学 、天津大学 、北京大学 、宁波大学 、天地伟业技术有限公司 、杭州士兰微电子股份有限公司 。