国家标准《真空技术 术语》 由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 东北大学 、台州职业技术学院 、浙江飞越机电有限公司 、兰州空间技术物理研究所 、淄博真空设备厂有限公司 、北京东方计量测试研究所 、合肥工业大学 、浙江博亚精密机械有限公司 、沈阳真空技术研究所有限公司 、沈阳理工大学 、暨南大学 、安徽万瑞冷电科技有限公司 、中科九微科技有限公司 、兰州真空设备有限公司 、泊肃叶科技（沈阳）有限公司 、湘潭宏大真空技术股份有限公司 、广东欧莱高新材料股份有限公司 、台州瑞晶机电有限公司 、中山火炬职业技术学院 、南京真空泵厂有限公司 、北京通嘉宏瑞科技有限公司 、北京航空材料研究院股份有限公司 、沈阳汇真真空技术有限公司 。

主要起草人 刘坤 、李得天 、巴德纯 、张以忱 、张宝夫 、蒋友荣 、黄国普 、赵澜 、张虎忠 、徐法俭 、黄志婷 、卢耀文 、王旭迪 、王晓冬 、张世伟 、陆学贵 、吴晓云 、宋青竹 、迟小宇 、谢元华 、赵新颖 、杜雪峰 、刘彭义 、汪澎 、周家屹 、邓高飞 、石晓强 、马强 、李成林 、陈正伟 、黄乐 、邹凯 、卢宽宽 、郭文斌 、王丽荣 、胡世苓 、冯磊 、杜广煜 、巴要帅 、陈树雷 、魏民 、郝明 、王桂鹏 、孟冬辉 、张华霞 、万旭杰 、李松波 、曹青 、王欢 、乔忠路 、王玲玲 。

本标准修改采用ISO国际标准：ISO 3529-1:2019, ISO 3529-2:2020, ISO 3529-3:2014。

采标中文名称:真空技术 术语 第1部分：基础术语，真空技术 术语 第2部分：真空泵及相关术语，真空技术 术语 第3部分：全压和分压真空计。