国家标准《300mm半导体设备装载端口要求》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 上海微电子装备(集团)股份有限公司 、中国电子技术标准化研究院 、北京北方华创微电子装备有限公司 、中微半导体设备(上海)股份有限公司 、漳州市太龙照明工程有限公司 、深圳市埃芯半导体科技有限公司 、苏州镁伽科技有限公司 、中电鹏程智能装备有限公司 。
主要起草人 胡松立 、李运锋 、吴怡然 、曹可慰 、赵俊莎 、周晓锋 、李殿浦 、武小娟 、朱明 、李英 、张宝帅 、洪峰 、张志勇 、乔志新 、王鸣昕 。
GB/T 44375-2024 即将实施
31 电子学 |
31.260 光电子学、激光设备 |