国家标准《电子气体 二氧化碳》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 河南心连心深冷能源股份有限公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、浙江泓芯半导体有限公司 、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 、华测检测认证集团股份有限公司 、浙江海畅气体股份有限公司 、福建德尔科技股份有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、金宏气体股份有限公司 、江西华特电子化学品有限公司 、重庆瑞信气体有限公司 、北京高麦克仪器科技有限公司 、大连华邦化学有限公司 、湖南凯美特气体股份有限公司 、三峡大学 、湖北和远气体股份有限公司 、重庆同辉气体有限公司 、兰州裕隆气体股份有限公司 、深圳高发气体股份有限公司 、上海启元气体发展有限公司 、浙江省计量与标准化学会 、浙江省标准化研究院 、浙江中硝康鹏化学有限公司 、杭氧集团股份有限公司 、液化空气（中国）投资有限公司 、玉门大洋天庆石化有限责任公司 、惠州市华达通气体制造股份有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、上海凡伟仪器设备有限公司 、大连大特气体有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、布鲁克（北京）科技有限公司 、浙江省化工研究院有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司 、中国计量科学研究院 、上海市计量测试技术研究院 、大连中汇达科学仪器有限公司 、沈阳中复科金压力容器有限公司 、杭州新世纪混合气体有限公司 、中国测试技术研究院化学研究所 、四川高精检测服务有限公司 、中国计量测试学会 、北京睿信捷环保科技有限公司 、哈尔滨黎明气体有限公司 、眉山麦克在线设备股份有限公司 、空气化工产品（中国）投资有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 。

主要起草人 崔增涛 、郭琼 、朱明 、银延蛟 、兰锋 、吴慧明 、胡迎 、郑秋艳 、苏子杰 、蔡金 、林定标 、陈施华 、孙福楠 、廖恒易 、陈艳珊 、金向华 、孙猛 、傅铸红 、禹金龙 、江月军 、牛艳东 、刘丽娜 、侯鹏 、钱吉 、刘清辉 、郭静楠 、袁有录 、杜大艳 、曹小林 、方强 、黄加斗 、王小波 、尹爱华 、徐汝峰 、俞俊 、曹益宁 、张孛媛 、王子源 、金雪光 、刘尚进 、韩帅 、殷昊 、张薇薇 、马彬淇 、刘峰 、石唯 、方华 、王见见 、何波 、唐中伟 、王云龙 、黄辉 、赵跃 、尚柏羊 、史婉君 、常侠 、边鲁宁 、胡树国 、张体强 、高艳秋 、李春华 、崔贺民 、宫兵 、贾任远 、沈远杰 、周鑫 、敖科 、杨扬仲夫 、赵洁 、邵成刚 、张艺山 、王晶 、周鹏云 、唐霞梅 。