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国家标准计划《电子级四氯化钛》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 武汉新硅科技潜江有限公司

目录

项目进度

当前标准计划

20232463-T-469 正在起草

电子级四氯化钛

基础信息

计划号
20232463-T-469
制修订
制定
项目周期
18个月
下达日期
2023-12-28
标准类别
产品
国际标准分类号
31.030
31 电子学
31.030 电子技术专用材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

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