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示范试点
技术委员会
电子级四氯化钛
Electronic Grade Titanium Tetrachloride
国家标准计划
制定
推荐性
国家标准计划《电子级四氯化钛》由
TC203
(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为
国家标准委
。
主要起草单位
武汉新硅科技潜江有限公司
。
目录
项目进度
起草
征求意见
终止
审查
批准
发布
当前标准计划
20232463-T-469
正在起草
电子级四氯化钛
基础信息
计划号
20232463-T-469
制修订
制定
项目周期
18个月
下达日期
2023-12-28
标准类别
产品
国际标准分类号
31.030
31 电子学
31.030 电子技术专用材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委
起草单位
武汉新硅科技潜江有限公司
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