国家标准《电子级磷酸》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 四川成洪磷化工有限责任公司 、江苏江阴市润玛电子材料有限公司 、湖北兴发化工集团股份有限公司 、苏州电子材料厂有限公司 、苏州晶瑞化学有限公司 。

主要起草人 李全东 、肖遥 、王文武 、戈士勇 、何珂 、李少平等 。