国家标准计划《电子级磷酸》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 中国电子技术标准化研究院 、江苏江阴市润玛电子材料有限公司 、晶瑞电子材料股份有限公司 。
GB/T 28159-2011 （全部代替）
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