国家标准计划《表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 上海交通大学 、中国科学院上海应用物理研究所 、上海市计量测试技术研究院 、纳米技术及应用国家工程研究中心 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 13095:2014。

采标中文名称:表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序。