国家标准计划《LED外延芯片用砷化镓衬底》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 大庆溢泰半导体材料有限公司 、中国科学院半导体研究所 、中科晶宇芯源(大庆)半导体材料有限公司 、江苏华兴激光科技有限公司 、中山德华芯片技术有限公司 。