国家标准计划《半导体单晶材料透过率测试方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 、有研国晶辉新材料有限公司 、有研半导体硅材料股份公司 、布鲁克(北京)科技有限公司 、中国电子科技集团公司第十三研究所 。