国家标准《微电子学微光刻技术术语》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院微电子研究所 。

主要起草人 陈宝钦 、王香 、李和委 、王力玉 、李新涛 、冯伯儒 、薛丽君 、郝美玲 、薛彩荣 。