注册

国家标准《微电子学微光刻技术术语》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC4(全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会)执行 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 中国科学院微电子研究所

主要起草人 陈宝钦王香李和委王力玉李新涛冯伯儒薛丽君郝美玲薛彩荣

目录

标准状态

当前标准

GB/T 44928-2024 现行

微电子学微光刻技术术语

基础信息

标准号
GB/T 44928-2024
发布日期
2024-12-31
实施日期
2024-12-31
标准类别
基础
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31.030
31 电子学
31.030 电子技术专用材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

陈宝钦
王香
李新涛
冯伯儒
薛彩荣
李和委
王力玉
薛丽君
郝美玲

相近标准(计划)