国家标准计划《光刻用掺钛石英玻璃》由 TC447（全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国建筑材料联合会。

主要起草单位 湖北菲利华石英玻璃股份有限公司 、中国建筑材料科学研究总院有限公司 、中国国检测试控股集团股份有限公司 、玻璃新材料创新中心（安徽）有限公司 、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 、中国科学院微电子研究所 、北京理工大学 、中国计量科学研究院 、中科院光电技术研究所 、中科院上海硅酸盐研究所 、中建材玻璃新材料研究院集团有限公司 。