国家标准《光刻用石英玻璃晶圆》 由TC447（全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国建筑材料联合会。

主要起草单位 中国建材检验认证集团股份有限公司 、中建材衢州金格兰石英有限公司 、长沙韶光铬版有限公司 、中国建筑材料科学研究总院 、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心 。

主要起草人 吴洁 、王京侠 、王友军 、李弋舟 、花宁 、刘焕敏 、肖颂华 、聂兰舰 、张浩运 、杨晓会 、杨学东 、孔敏 、张应语 。