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国家标准计划《微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法》由 TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期:发布后3个月正式实施。

主要起草单位 北京大学中机生产力促进中心北京智芯传感科技有限公司沈阳国仪检测技术有限公司浙江博亚精密机械有限公司中北大学北京必创科技股份有限公司

主要起草人 张威张亚婷于振毅陆学贵朱悦石云波李海斌程逸轩周浩楠陈得民

目录

项目进度

当前标准计划

20171123-T-469 已发布

微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

基础信息

计划号
20171123-T-469
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2017-07-21
标准类别
方法
中国标准分类号
L55
国际标准分类号
31.200
31 电子学
31.200 集成电路、微电子学
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

张威
张亚婷
朱悦
石云波
周浩楠
陈得民
于振毅
陆学贵
李海斌
程逸轩

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