国家标准《电子工业用气体 六氟乙烷》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 浙江省化工研究院有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、四川中测标物科技有限公司 、高麦仪器公司 、西南化工研究设计院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、东莞市联臣电子科技有限公司 、国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建） 、天津长芦华信化工股份有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 。

主要起草人 史婉君 、廖恒易 、杜汉盛 、白占旗 、方正 、潘义 、牛艳东 、方华 、王鸿 、陈熔 、林宇巍 、邓建平 、李健 、周鹏云 。