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起草的国家标准

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标准号
标准中文名称
发布日期
实施日期
标准状态
1 GB/T 42897-2023 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 2023-08-06 2023-12-01 现行
2 GB/T 42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法 2023-05-23 2023-09-01 现行
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