# | 标准号 | 标准中文名称 | 发布日期 | 实施日期 | 标准状态 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | GB/T 44842-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法 | 2024-10-26 | 2024-10-26 | 现行 |
| 2 | GB/T 44517-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法 | 2024-09-29 | 2025-04-01 | 现行 |
| 3 | GB/T 42895-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法 | 2023-08-06 | 2023-12-01 | 现行 |
| 4 | GB/T 42897-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 | 2023-08-06 | 2023-12-01 | 现行 |
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