# | 标准号 | 标准中文名称 | 发布日期 | 实施日期 | 标准状态 |
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1 | GB/T 44531-2024 | 微机电系统(MEMS)技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范 | 2024-09-29 | 2024-09-29 | 现行 |
2 | GB/T 42895-2023 | 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法 | 2023-08-06 | 2023-12-01 | 现行 |
3 | GB/T 42896-2023 | 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法 | 2023-08-06 | 2023-12-01 | 现行 |
4 | GB/T 42897-2023 | 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 | 2023-08-06 | 2023-12-01 | 现行 |