行业标准《电子工业用显影液中碳酸根离子的测定 自动电位滴定法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 杭州格林达化学有限公司 、工业和信息化部电子工业标准化研究院 。
主要起草人 陈玉英 、尹云舰 、叶青等 。
备案号:55017-2016。
备案公告: 2016年第7号 。