行业标准《镍铂靶材》，主管部门为工业和信息化部。
备案号：104140-2026。
备案公告： 2026年第4号 。
本文件规定了镍铂靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于制备半导体薄膜用的各类镍铂靶材产品。
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