行业标准《制备钌靶用钌粉》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 贵研铂业股份有限公司 、有研亿金新材料有限公司 、有色金属技术经济研究院 。
主要起草人 谭志龙 、郭俊梅 、熊晓东等 。
备案号:50419-2015。
备案公告: 2015年第7号 。
本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉(以下简称钌粉)。