行业标准《高纯金属镧靶材》,主管部门为工业和信息化部。
备案号:108684-2026。
备案公告: 2026年第9号 。
本文件规定了高纯金属镧靶材的分类和牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件。本文件适用于半导体、光电等行业用高纯金属镧靶材。