行业标准《高纯钛铝合金靶材》，主管部门为工业和信息化部。
备案号：103166-2025。
备案公告： 2025年第12号 。
本文件规定了高纯钛铝合金靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于集成电路用高纯钛铝合金靶材
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