国家标准计划《硅材料原生缺陷图谱》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 有研半导体材料股份有限公司 、东方电气集团峨眉半导体材料有限公司 、南京国盛电子有限公司 、杭州海纳半导体有公司 、万向硅峰电子股份有限公司 、四川新光硅业科技有限责任公司 、陕西天宏硅材料有限责任公司 、中国有色金属工业标准化计量质量研究所 。

主要起草人 孙燕 、曹孜 、翟富义 、杨旭 、谭卫东 、黄笑容等 。