国家标准《电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 上海市计量测试技术研究院 、西南化工研究设计院有限公司 、高麦仪器公司 、广东华特气体股份有限公司 、北京华宇同方化工科技开发有限公司 、苏州金宏气体股份有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 。

主要起草人 陈鹰 、姜阳 、周鹏云 、牛艳东 、傅铸红 、杜汉盛 、江罗 、许军洲 、方华 、常侠 。