国家标准《电子工业用四氯化硅》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 湖北晶星科技股份有限公司 、湖北省标准化与质量研究院 、洛阳中硅高科技有限公司 、唐山三孚电子材料有限公司 、湖北光谷标准创新科技有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、浙江西亚特电子材料有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、上海市计量测试技术研究院 、联雄投资（上海）有限公司 、随州市信息与标准化所 、达州市质量技术监督检验测试中心 、西南化工研究设计院有限公司 。

主要起草人 徐德 、张国光 、黄娣 、刘畅 、杨剑 、赵雄 、楚东旭 、王春英 、戴帅 、张竞 、黄国菲 、廖恒易 、陈艳珊 、杨利 、于青玉 、方华 、曹作斌 、曲庆 、陈鹰 、李春华 、黄辉 、谭鹏程 、邓远方 、周鹏云 、徐龙 、赵帅德 、唐霞梅 。