行业标准《电子工业用氢化铝钠》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 英利集团有限公司 、六九硅业有限公司 、河北大学等 。

主要起草人 杨惠茹 、蔡春立 、王伟等 。

备案号：54936-2016。

备案公告： 2016年第7号 。