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国家标准《半导体器件 微电子机械器件 第38部分:MEMS互连中金属粉末膏体粘附强度测试方法》 由TC599(全国集成电路标准化技术委员会)、全国微机电技术标准化技术委员会联合归口 ,主管部门为工业和信息化部(电子)

主要起草单位 厦门烨映电子科技有限公司杭州电子科技大学上海烨映微电子科技股份有限公司中国电子技术标准化研究院工业和信息化部电子第五研究所广东工业大学

主要起草人 徐德辉刘超然董林玺张德阳刘若冰蒋万里黄钦文齐筱何春华

目录

标准状态

当前标准

GB/T 42709.38-2026 即将实施

半导体器件 微电子机械器件 第38部分:MEMS互连中金属粉末膏体粘附强度测试方法

基础信息

标准号
GB/T 42709.38-2026
发布日期
2026-07-30
实施日期
2027-02-01
标准计划
20231776-T-339
标准类别
方法
中国标准分类号
L55
国际标准分类号
31.200
31 电子学
31.200 集成电路、微电子学
归口单位
全国集成电路标准化技术委员会全国微机电技术标准化技术委员会
副归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国集成电路标准化技术委员会
主管部门
工业和信息化部(电子)

采标情况

本标准等同采用IEC国际标准:IEC 62047-38:2021。

采标中文名称:半导体器件 微电子机械器件 第38部分:MEMS互连中金属粉末膏体粘附强度测试方法。

起草单位

起草人

徐德辉
刘超然
刘若冰
蒋万里
何春华
董林玺
张德阳
黄钦文
齐筱

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