国家标准计划《硅多晶》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 峨眉半导体材料厂 。

主要起草人 罗莉萍 、张辉坚 、王炎 。

本标准修改采用其他国际标准：SEMI M16-1103:2003。

采标中文名称:多晶硅规范。