国家标准《硅多晶》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 峨眉半导体材料厂 。
GB 12963-1991 （全部代替）
GB/T 12963-1996 废止
GB/T 12963-2009 （全部代替）
本标准等效采用ITU国际标准：SEMI M16:1989。
采标中文名称:。
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