国家标准计划《离子束蚀刻机通用规范》由 339-1（工业和信息化部（电子））归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十八研究所 。

主要起草人 陈特超 、周大良 。