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国家标准《离子束蚀刻机通用技术条件》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。

主要起草单位电子部长沙半导体工艺设备所。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 15861-1995 废止

离子束蚀刻机通用技术条件

被以下标准替代

GB/T 15861-2012 （全部代替）

离子束蚀刻机通用规范

基础信息

标准号: GB/T 15861-1995
发布日期: 1995-12-22
实施日期: 1996-08-01
废止日期: 2013-02-15
上次复审日期: 2012-04-16
上次复审结论: 继续有效

标准类别

产品

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31.200

31 电子学

31.200 集成电路、微电子学

归口单位

工业和信息化部（电子）

执行单位

工业和信息化部（电子）

主管部门

工业和信息化部（电子）

起草单位

电子部长沙半导体工艺设备所

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