国家标准计划《真空镀膜设备通用技术条件》由 TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 北京北仪创新真空技术有限责任公司 、上海曙光机械制造厂有限公司 、兰州真空设备有限责任公司 、成都南光机器有限公司 、中国航天科技集团第五研究院510研究所等 。

主要起草人 陈月增 、谢钧荣 、范立群 、孙凯 、温发兰等 。