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国家标准《真空镀膜设备通用技术条件》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位上海曙光机械制造厂。

目录

标准状态

代替了以下标准

GB/T 11164-1989 （全部代替）

当前标准

GB/T 11164-1999 废止

真空镀膜设备通用技术条件

被以下标准替代

GB/T 11164-2011 （全部代替）

真空镀膜设备通用技术条件

基础信息

标准号: GB/T 11164-1999
发布日期: 1999-04-08
实施日期: 1999-09-01
废止日期: 2012-03-01

标准类别

基础

中国标准分类号

J78

国际标准分类号

23.160

23 流体系统和通用件

23.160 真空技术

归口单位

全国真空技术标准化技术委员会

执行单位

全国真空技术标准化技术委员会

主管部门

中国机械工业联合会

起草单位

上海曙光机械制造厂

相近标准(计划)

GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件

SJ/T 31083-2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

20233864-T-604 电工专用设备通用技术条件

20221649-T-604 污水处理容器设备通用技术条件

JB/T 9655-1999 电工专用设备控制设备通用技术条件

QB/T 5038-2017 坚果与籽类食品设备炒制设备通用技术条件

HG/T 4766-2014 真空镀膜涂料

MT 287-1992 煤矿信号设备通用技术条件

MZ/T 224—2024 遗物焚烧尾气处理设备通用技术条件

JB 5720-1991 木工机床电气设备通用技术条件

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