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国家标准计划《磷化铟多晶》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布后8个月正式实施。

主要起草单位 南京金美镓业有限公司 、有色金属技术经济研究院 、中国电子科技集团公司第十三研究所 、广东先导稀材股份有限公司 、石家庄麦特达电子科技有限公司 、中国科学院半导体研究所 、云南中科鑫圆晶体材料有限公司 。

主要起草人 范家骅 、邢志国 、杨桂芳 、刘文兵 、李素青 、王阳 、李晓岚 、孙聂枫 、刘惠生 、赵有文 、惠峰 、朱刘 、刘永豪 。

目录

项目进度

当前标准计划

20160589-T-469 已发布

磷化铟多晶
已发布标准

基础信息

计划号
20160589-T-469
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2016-06-14
标准类别
产品
中国标准分类号
H83
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

范家骅
邢志国
李素青
王阳
刘惠生
赵有文
刘永豪
杨桂芳
刘文兵
李晓岚
孙聂枫
惠峰
朱刘

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