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国家标准计划《高温扩散用硅舟及硅保温筒》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布后6个月正式实施。

主要起草单位 杭州盾源聚芯半导体科技有限公司 、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、有研半导体硅材料股份公司 。

主要起草人 郑小松 、祝建敏 、刘志彪 、龚益文 、敖丹 、顾燕滨 、徐新华 、郑斌 、贺东江 、姜舰 。

目录

项目进度

当前标准计划

20250575-T-469 正在批准

高温扩散用硅舟及硅保温筒

基础信息

计划号
20250575-T-469
制修订
制定
项目周期
18个月
下达日期
2025-02-28
标准类别
产品
中国标准分类号
H 82
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

郑小松
祝建敏
敖丹
顾燕滨
贺东江
姜舰
刘志彪
龚益文
徐新华
郑斌

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