国家标准计划《高温扩散用硅舟及硅保温筒》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 杭州盾源聚芯半导体科技有限公司 、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、有研半导体硅材料股份公司 。
主要起草人 郑小松 、祝建敏 、刘志彪 、龚益文 、敖丹 、顾燕滨 、徐新华 、郑斌 、贺东江 、姜舰 。
20250575-T-469 正在审查
| 29 电气工程 |
| 29.045 半导体材料 |