国家标准计划《表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 中国计量科学研究院 、上海市计量测试技术研究院 、西安交通大学 。

主要起草人 李伟 、蔡潇雨 、李适 、杨树明 、程碧瑶 、魏佳斯 、高思田 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 11952:2019。

采标中文名称:表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准。