国家标准《表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 中山大学 、广东工业大学 、暨南大学 。

主要起草人 龚力 、杨慕紫 、陈瑜 、张浩 、谢伟广 、谢方艳 、丁喜冬 、陈建 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 13083:2015。

采标中文名称:表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准。