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国家标准计划《硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布后10个月正式实施。

主要起草单位 有研半导体材料有限公司瑟米莱伯贸易(上海)有限公司中国计量科学研究院浙江省硅材料质量检验中心广州市昆德科技有限公司江苏协鑫硅材料科技发展有限公司天津市环欧半导体材料技术有限公司北京合能阳光新能源技术有限公司

主要起草人 曹孜孙燕黄黎赵而敬徐红骞高英石宇楼春兰王昕张雪囡林清香刘卓肖宗杰

目录

项目进度

修订了以下标准

GB/T 26068-2010 (全部代替)

硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法
当前标准计划

20151792-T-469 已发布

硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法

基础信息

计划号
20151792-T-469
制修订
修订
项目周期
24个月
下达日期
2015-08-18
标准类别
方法
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040
77 冶金
77.040 金属材料试验
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

曹孜
孙燕
徐红骞
高英
王昕
张雪囡
肖宗杰
黄黎
赵而敬
石宇
楼春兰
林清香
刘卓

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