国家标准计划《硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 有研半导体材料股份有限公司 、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司 、中国计量科学研究院 、洛阳单晶硅有限责任公司等 。

主要起草人 曹孜 、孙燕 、黄黎 、高英等 。